国策の先端半導体メーカー「Rapidus」の北海道千歳市の新工場に、最先端半導体製造向けの極端紫外線(EUV)露光装置が国内で初めて導入された。EUV露光は半導体生産の要である回路形成を担い、装置の搬入は14日に開始され年内完了予定とのこと。
EUV露光装置は重量71トン・高さ3.4メートルのクジラ並みのスケール!?。製造元のオランダASMLのCTOも来るほどの熱の入れよう。1台300億円で23年の出荷台数は世界で42台しかないようなので当然か。
ラピダスはこれを使い2nm品試作を2025年春、量産を2027年に目指す。TSMCが25年の量産を目指す先端半導体レベルのためかなり急速な追い上げである。IBMとガッツリ組んで技術供与を受けていて、コラボとか巻き込みがやっぱり重要なのか。